Anlagen der Vakuumbeschichtung zum Aufbringen der Verstärkungsschichten

Die Zusammenwirkung in der Vakuumanlage der Prozessquellen verschiedener Bauart, wie Magnetronen, Ionenquellen, Vakuumbogen-Verdampfer und moderner Stromverteiler und Leitstände sowie anderer Geräte und Systeme ermöglicht die Erzeugung qualitativ hochwertiger Hartbeschichtungen mit Wiederholbarkeit von einem Arbeitszyklus zum anderen.

Anforderung

Technische Daten:

1. Die Maße der Kammer:

Durchmesser, mm – 500-2000
Höhe oder Länge, mm – 500-2500
Vakuumkammer in vertikaler und horizontaler Ausführung.

2. Das Vakuumsystem kann mit dem Einsatz verschiedener Pumpanlagen gebaut werden.

3. Prozessquellen:

Vakuumbogen-Verdampfer
Ionenquellen
Magnetron-Zerstäubersysteme.

4. Impulsnetzteile.

Eine kleine Modernisierung der Anlage kann DLC-Beschichtungen ermöglichen. Die Anlage kann sowohl im manuellen als auch im automatischen Betrieb nach dem vorgegebenen Programm mittels Personalcomputer arbeiten.